本發(fā)明提供一種磁控管陰極用磁控線圈原料粉末及其制備方法,屬于
粉末冶金制造領(lǐng)域。本發(fā)明粉末為以下材料制成:質(zhì)量分?jǐn)?shù)為96.37~98.68mt%藍(lán)鎢WO2.9粉末,質(zhì)量分?jǐn)?shù)為1.32~3.63mt%硝酸釷藍(lán)鎢WO2.9粉末和硝酸釷溶液。本發(fā)明的制造方法包括粉末制備、摻雜、還原等步驟。本發(fā)明利用藍(lán)鎢WO2.9顆粒具有多孔“蜂窩狀”結(jié)構(gòu),吸附能力強(qiáng)、表面活性好等特性,使硝酸釷與藍(lán)鎢WO2.9摻雜更加均勻。將摻雜后的粉末進(jìn)行干燥還原。還原在還原爐中進(jìn)行,采用H2氣氛及溫度等工藝控制,得出適合粉末冶金成型的混合均勻的釷鎢粉末。
聲明:
“磁控管陰極用磁控線圈原料粉末及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)