本發(fā)明涉及一種硒化銦靶材的制備模具,模具包括上方開(kāi)口且中空的外模和上封蓋,外模形成一圓筒形的裝料空間,上封蓋包括與外模蓋合的蓋面和自蓋面向上凸伸的封蓋柄,封蓋柄上開(kāi)設(shè)有真空抽氣孔,模具還包括墊設(shè)于外模內(nèi)的若干石墨紙和支撐片。本發(fā)明同時(shí)提出一種硒化銦靶材的制備方法。該制備模具和制備方法采用熱等靜壓技術(shù)制備高密度、低電阻的硒化銦靶材,所制備得到的硒化銦靶材的密度達(dá)到99%以上、靶材1cm間的電阻值低于1200Ω/cm,所制備得到的硒化銦靶材適用于半導(dǎo)體鍍膜。
聲明:
“硒化銦靶材的制備模具及制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)