本發(fā)明提供一種在通過噴出
功能材料而形成功能膜的過程中,可以有效防止其變質(zhì)的有機EL裝置的制造方法及其制造裝置、以及有機EL裝置、電子機器、液滴噴出裝置。在使導(dǎo)入了發(fā)光功能材料的功能液滴噴頭7相對于基板W進行掃描、選擇性地噴出發(fā)光功能材料,在基板W上的多個像素區(qū)域中分別形成有機EL功能層的有機EL元件的制造方法中,噴出發(fā)光功能材料的噴出工藝在惰性氣體環(huán)境中進行。
聲明:
“有機EL裝置及其制造方法和制造裝置、及液滴噴出裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)