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帶有中間電極的柔性壓電傳感/驅(qū)動兩用器件及其制備方法

810   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 15:02:31
本發(fā)明公開了一種帶有中間電極的柔性壓電傳感/驅(qū)動兩用器件及其制備方法。該柔性壓電傳感/驅(qū)動兩用器件包括帶有中間電極的柔性壓電功能材料層、側(cè)向引出電極和柔性絕緣封裝層;其器件結(jié)構(gòu)由上至下具體布局為:上柔性絕緣封裝層、柔性壓電功能材料層、左右側(cè)向引出電極、下柔性絕緣封裝層。該柔性壓電功能材料由沿縱、橫陣列布置的微米壓電陶瓷柱、柔性中間電極以及聚合物粘接劑組成。該傳感/驅(qū)動兩用器件的制備方法主要包括對壓電功能材料的制備方法、側(cè)向引出電極制備與裝配方法以及兩用器件封裝方法。本發(fā)明的帶有中間電極的柔性壓電功能材料,垂直中間電極方向?qū)弘娞沾芍M行極化,在傳感與驅(qū)動時有效采用壓電陶瓷柱d33壓電常數(shù),極大地增強了壓電功能材料的傳感/驅(qū)動敏感度,器件整體結(jié)構(gòu)緊湊、柔韌性好、性能穩(wěn)定。既能很好地與曲面結(jié)構(gòu)耦合作為應(yīng)力/應(yīng)變傳感器,亦可輸入激勵信號進行主動振動抑制驅(qū)動器。
聲明:
“帶有中間電極的柔性壓電傳感/驅(qū)動兩用器件及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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