本發(fā)明專利公開了一種微型螺旋結(jié)構(gòu)制造方法及其制造裝置，包括工位移動(dòng)平臺(tái)、豎直運(yùn)動(dòng)平臺(tái)、旋轉(zhuǎn)平臺(tái)、細(xì)棒、犧牲層溶液容器、擠壓沉積系統(tǒng)和犧牲層溶解溶液容器，豎直運(yùn)動(dòng)平臺(tái)安裝于工位移動(dòng)平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)部分，旋轉(zhuǎn)平臺(tái)安裝于豎直運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)部分，細(xì)棒安裝于旋轉(zhuǎn)平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)部分，犧牲層溶液容器、擠壓沉積系統(tǒng)和犧牲層溶解溶液容器依次順序放置在工位移動(dòng)平臺(tái)的下方，應(yīng)用于滿足微機(jī)電系統(tǒng)中對(duì)各種功能材料微螺旋結(jié)構(gòu)的制造的需求，該方法通過細(xì)棒表面涂覆犧牲層、擠壓沉積微螺旋結(jié)構(gòu)和微螺旋結(jié)構(gòu)從細(xì)棒分離的步驟制造出各種功能材料的微螺旋結(jié)構(gòu)，相比于傳統(tǒng)的微螺旋結(jié)構(gòu)，具有精度高、可制造材料種類多和制造運(yùn)營(yíng)成本低的優(yōu)點(diǎn)。