一種納米制造系統(tǒng),包括原子粒子產(chǎn)生系統(tǒng),原子粒子產(chǎn)生系統(tǒng)與氣源連通,原子粒子產(chǎn)生系統(tǒng)與原子輸運系統(tǒng)相連,原子輸運系統(tǒng)與真空工作室相連,真空工作室內(nèi)設(shè)置有納米孔陣列掩模板,納米孔陣列掩模板邊緣上方為光學(xué)對準系統(tǒng),下方為納米級電子對準系統(tǒng),納米孔陣列掩模板下方設(shè)置有鋪設(shè)有襯底材料;氣源進入原子粒子產(chǎn)生系統(tǒng)獲得能量與動量后產(chǎn)生原子粒子,原子粒子進入真空工作室,支架調(diào)節(jié)控制系統(tǒng)實現(xiàn)納米孔陣列掩模板與襯底材料的相對運動,實現(xiàn)掩模功能與納米圖形加工;本發(fā)明具有控制精度高、加工尺度小、對襯底材料損傷小、電學(xué)影響小、系統(tǒng)結(jié)構(gòu)相對簡單、
功能材料多樣以及結(jié)構(gòu)圖形化方便的特點。
聲明:
“納米制造系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)