本發(fā)明涉及一種薄膜
太陽能電池吸收層的制備方法,屬于光電
功能材料和新能源技術(shù)領(lǐng)域。其特征在于,采用真空磁控濺射法制備銅銦硒或銅銦鎵硒或銅銦鋁硒吸收層,直接使用銅銦硒或銅銦鎵硒或銅銦鋁硒合金靶材,由靶材成分控制吸收層成分,由濺射工藝控制成膜質(zhì)量。磁控濺射法制備的吸收層隨后還可在保護(hù)氣氛中進(jìn)行退火處理,以進(jìn)一步改善結(jié)晶質(zhì)量。本發(fā)明制備的吸收層由均一的銅銦硒相或銅銦鎵硒相或銅銦鋁硒相構(gòu)成,成分分布均勻,并且與靶材成分一致。本發(fā)明工藝簡便,易于控制,沉積時基體溫度較低,可選擇襯底種類多,適于工業(yè)化生產(chǎn)。
聲明:
“制備薄膜太陽能電池吸收層的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)