一種磁聲表面波磁場傳感器及其制備方法,屬于電子
功能材料與器件技術(shù)領(lǐng)域。該傳感器包括壓電薄膜、磁致伸縮薄膜、襯底基片;磁致伸縮薄膜位于壓電薄膜和襯底基片之間;磁致伸縮薄膜的厚度為所述壓電薄膜厚度的2~5倍;壓電薄膜表面具有叉指換能器,叉指換能器與壓電薄膜一起構(gòu)成聲表面波器件。壓電薄膜以及叉指換能器表面覆蓋有一層SiO2。當(dāng)傳感器處于諧振狀態(tài)時,如果存在外加磁場變化,磁致伸縮層的楊氏模量就會發(fā)生變化,進(jìn)而影響到壓電層中聲表面波的傳播速度,此時通過檢測諧振中心頻率的變化就可知外加磁場的變化。SiO2覆蓋層可以補(bǔ)償壓電薄膜的頻率溫度系數(shù),實現(xiàn)接近零頻率溫度系數(shù)。本發(fā)明具有微型化、易集成、靈敏度高、一致性號、穩(wěn)定可靠的特點(diǎn)。
聲明:
“磁聲表面波磁場傳感器及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)