一種鋯酸鉛納米復(fù)合電介質(zhì)薄膜及其制備方法，屬于電子材料、功能材料和智能材料的技術(shù)領(lǐng)域，所述材料的Al：PbZrO3體積比為0.5?2.0%：99.5?98.0%，富鋁納米粒子以層狀分布在鋯酸鉛基體上，其擊穿電場強(qiáng)度和儲能密度與鋯酸鉛薄膜對比分別提高了約182%和68%。該材料是通過真空蒸鍍和化學(xué)溶液沉積法制備的，具有工藝簡單、成本低廉、可大面積均勻成膜等優(yōu)點(diǎn)，將在脈沖功率器件領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。