本發(fā)明涉及一種平面靶材的綁定方法,屬于光電
功能材料技術(shù)領(lǐng)域。該方法包括以下步驟:S1、將靶材綁定面與背板綁定面依次進行噴砂和等離子清洗;制得表面處理后的靶材和表面處理后的背板;S2、將所述表面處理后的靶材及所述表面處理后的背板升溫至170℃~180℃后,進行超聲波焊接銦;S3、在步驟S2處理后的背板綁定面上制作3mm~5mm深的銦池;S4、將步驟S2處理后的靶材放入所述銦池中,直至完全浸入銦池;S5、對步驟S4處理后的靶材表面采用超聲波進行震動;S6、將步驟S5處理后靶材施加作用力后冷卻;S7、將步驟S6處理后靶材拼接縫隙中的銦去除后,再次冷卻。本發(fā)明的綁定方法最終達到99%以上的貼合率。
聲明:
“平面靶材的綁定方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)