一種鈰摻雜鈦酸鍶鋇薄膜的制備方法,屬于
功能材料技術(shù)領(lǐng)域。以不強(qiáng)于乙酸的鋇鹽、鍶鹽、鈰鹽以及鈦酸丁酯為原料,先配制鋇鍶前驅(qū)液,然后加入鈰鹽形成鋇鍶鈰前驅(qū)液,再加入PVP形成PVP鋇鍶鈰前驅(qū)液,再加入乙二醇甲醚和鈦酸丁酯形成鈰摻雜BST前驅(qū)液,再加入乙酰丙酮并用冰乙酸定容形成BST溶膠;然后采用BST溶膠經(jīng)多次勻膠、干燥、熱解、預(yù)晶化及冷卻得到多層非晶BST薄膜,最后經(jīng)晶化處理得到鈰摻雜鈦酸鍶鋇薄膜。本發(fā)明解決了高濃度鈰摻雜(鈰摻雜濃度不低于鈦離子濃度的5%)制備鈦酸鍶鋇薄膜時(shí)所存在的水解問題,所制備的鈰摻雜BST薄膜具有更低的漏電流密度和介電損耗,從而滿足鈰摻雜BST薄膜的微波應(yīng)用。
聲明:
“鈰摻雜鈦酸鍶鋇薄膜的制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)