本發(fā)明公開了屬于
功能材料的微加工和器件集成領(lǐng)域的一種基于精密機(jī)械加工的微型熱電器件制作方法。該工藝的核心是熱電堆(熱電臂陣列)的制作,具體步驟為:先利用精密切割法分別在P、N型熱電塊體薄片上加工出一系列平行凹槽,然后在環(huán)氧樹脂的潤滑下插嵌復(fù)合,待固化后再沿垂直于這些溝槽的方向切割出一系列平行凹槽并填入環(huán)氧樹脂,待再固化后經(jīng)過拋光就可以制作出二維排布的熱電臂陣列。通過后續(xù)的電極制作和封裝工藝,就可以制作出適用于便攜式電源或微區(qū)制冷的毫米尺度的微型熱電器件。
聲明:
“基于精密機(jī)械加工的微型熱電器件制作方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)