一種金剛石/硅復(fù)合材料的制備方法，屬于金剛石/硅復(fù)合材料領(lǐng)域。本發(fā)明在真空條件下，采用硅蒸汽氣相滲透的方法制備金剛石/硅的復(fù)合材料。首先，將適當(dāng)比例的金剛石顆粒，硅粉和粘結(jié)劑混合，采用有機(jī)溶劑進(jìn)行潤(rùn)濕，然后通過混料機(jī)混合，制備原始的混合粉料，然后將混合粉料在壓機(jī)上預(yù)壓成型，制備多孔的預(yù)制坯，接著在管式爐中進(jìn)行脫脂，隨后將經(jīng)過脫脂的預(yù)制坯在真空熔滲爐中進(jìn)行硅蒸汽的氣相滲透，實(shí)現(xiàn)多孔預(yù)制坯的致密化，最終得到具有良好導(dǎo)熱性能的金剛石/硅復(fù)合材料。本發(fā)明工藝操作簡(jiǎn)單，效率高，得到的復(fù)合材料，致密度達(dá)到99％以上，熱導(dǎo)率為200～500W/(m·K)，熱膨脹系數(shù)為1.5～4.5×10?6，產(chǎn)品的強(qiáng)度硬度高，有利于實(shí)現(xiàn)金剛石/硅復(fù)合材料的產(chǎn)業(yè)化。