本發(fā)明涉及C/SiC復(fù)合材料加工工藝，尤其是一種降低C/SiC復(fù)合材料加工磨削損傷的方法，將C/SiC復(fù)合材料放在超聲振動(dòng)系統(tǒng)的機(jī)床上進(jìn)行加工，該超聲振動(dòng)系統(tǒng)加工用的工具為杯形金剛石砂輪，金剛石磨粒目數(shù)為140/170目；金剛石砂輪末端的輸出振幅不小于4μm，磨削進(jìn)給速度為1-2m/min，磨削深度在10μm以下，磨削速度不大于60m/s，超聲輔助磨削時(shí)杯形金剛石砂輪振動(dòng)方向平行于磨削表面，砂輪表面工作層磨粒運(yùn)動(dòng)軌跡在C/SiC復(fù)合材料表面交錯(cuò)重疊，減小了單顆磨粒切厚從而降低了磨削加工損傷。