本發(fā)明公開了一種基于
復(fù)合材料狹縫波導(dǎo)的片上無溫漂微環(huán)諧振腔光傳感器。包括基于復(fù)合材料狹縫波導(dǎo)的微環(huán)諧振腔、與微環(huán)諧振腔相互耦合的直波導(dǎo),所述的微環(huán)諧振腔分為由正熱光系數(shù)材料構(gòu)成的第一環(huán)形波導(dǎo)和由負(fù)熱光系數(shù)材料構(gòu)成的第二環(huán)形波導(dǎo);第一環(huán)形波導(dǎo)和第二環(huán)形波導(dǎo)同心布置,且之間具有環(huán)形的狹縫。本發(fā)明充分利用了基于狹縫波導(dǎo)的光傳感器高靈敏度的優(yōu)點,又基于無溫漂復(fù)合材料結(jié)構(gòu)解決了傳統(tǒng)片上環(huán)形諧振腔高溫漂的缺點,即沒有溫漂而只對所覆蓋的分析物敏感,同時具有加工簡單、結(jié)構(gòu)緊湊的特點,能滿足片上光傳感器的實際需求。
聲明:
“基于復(fù)合材料狹縫波導(dǎo)的片上無溫漂微環(huán)諧振腔光傳感器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)