本發(fā)明公開了一種制備紅外
復(fù)合材料的方法和真空化學(xué)氣相沉積爐,其中,所述方法包括在同一真空化學(xué)氣相沉積爐內(nèi)連續(xù)沉積ZnSe和ZnS,將裝有固體鋅料的坩堝加熱至500~750℃,使鋅升華產(chǎn)生鋅蒸汽,然后將沉積室加熱至650~800℃,通入硒化氫,開始沉積ZnSe,沉積完成后,停止通入硒化氫,沉積室降溫至600~750℃,通入硫化氫氣體,開始沉積ZnS,整個(gè)沉積過程載流氣體的流量保持不變,沉積完成后進(jìn)行升溫退火處理,出爐即得ZnSe/ZnS紅外復(fù)合材料。本發(fā)明有效縮短了ZnSe/ZnS紅外復(fù)合材料的生產(chǎn)周期,簡化了生產(chǎn)工藝,降低了生產(chǎn)成本。
聲明:
“制備紅外復(fù)合材料的方法和真空化學(xué)氣相沉積爐” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)