一種具有室溫氣敏響應(yīng)特性的
石墨烯基電阻型氣體傳感器及其制作方法,屬于氣體傳感器技術(shù)領(lǐng)域。是以單晶硅為襯底,采用熱氧化法在單晶硅表面生成二氧化硅層;在二氧化硅層表面沉積3~5對(duì)叉指金電極,在叉指金電極上連接有引線,在二氧化硅層和叉指金電極表面涂覆有氣體敏感薄膜,該氣體敏感薄膜為石墨烯/多壁
碳納米管/氧化鋅三元
復(fù)合材料,薄膜的厚度為10~50μm;氣體敏感薄膜接觸待測(cè)氣體前后,其電阻會(huì)發(fā)生變化,通過(guò)測(cè)量叉指金電極間電阻的變化,可以獲得傳感器的靈敏度。感器在室溫下具有很高的響應(yīng)靈敏度、快速的響應(yīng)恢復(fù)速率和良好的響應(yīng)可逆性,解決了氧化鋅氣體傳感器通常需要在高溫下才能工作的問(wèn)題。
聲明:
“基于石墨烯/多壁碳納米管/氧化鋅復(fù)合材料的電阻型氣體傳感器及制作方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)