本實用新型提供一種新型四氯化硅熱氫化爐熱場,屬于四氯化硅熱氫化工藝設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。包括保溫隔熱層以及設(shè)置在保溫隔熱層內(nèi)的碳/碳
復(fù)合材料加熱器:所述保溫隔熱層包括外保溫筒以及內(nèi)隔熱屏;所述碳/碳復(fù)合材料加熱器包括石墨夾頭,石墨夾板,碳/碳復(fù)合材料加熱帶,所述碳/碳復(fù)合材料加熱帶整體彎制成型,碳/碳復(fù)合材料加熱帶的兩個端頭被石墨夾頭和石墨夾板夾持,并通過緊固螺栓固定,所述碳/碳復(fù)合材料加熱帶的截面形狀為S形。本實用新型還提供包括所述熱場的熱氫化爐。本實用新型提供的四氯化硅熱氫化爐熱場及熱氫化爐適用于四氯化硅處理量在5噸/小時以上,可以保證SiHCl
3生成率,有效降低能耗,提高設(shè)備穩(wěn)定性。
聲明:
“新型四氯化硅熱氫化爐熱場及熱氫化爐” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)