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碳化硅復合包殼管的制備方法

1130   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 16:55:13
本發(fā)明提供一種碳化硅復合包殼管的制備方法,其包括步驟:步驟1,將高溫裂解后的SiC復合材料包殼管掛置于真空加熱爐內(nèi);步驟2,在20Pa以內(nèi)的真空狀態(tài)下加熱,并通入三氯甲基硅烷、氬氣、氫氣的混合氣體,保持一定溫度開始沉積;步驟3,沉積結(jié)束后,取出SiC復合材料包殼管,重復步驟1~步驟2,進行多次沉積,以獲得不同厚度沉積層的碳化硅復合包殼管。本發(fā)明首次在碳化硅復合包殼材料中采用氣相沉積的手段,設(shè)計了碳化硅復合材料包殼管氣相沉積的工藝方法,通過工藝實驗確定了最佳參數(shù),沉積后的包殼管內(nèi)部纖維間、內(nèi)外表面獲得了明顯的碳化硅產(chǎn)物,碳化硅復合材料包殼管經(jīng)過氣相沉積后陶瓷化現(xiàn)象顯著,相對密度可達到85%以上。
聲明:
“碳化硅復合包殼管的制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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