本實用新型公開了一種化學(xué)氣相沉積爐爐蓋,包括水冷鋼外殼,水冷鋼外殼上端設(shè)置有排氣管,水冷鋼外殼下端外側(cè)設(shè)置有側(cè)板,側(cè)板內(nèi)填充保溫棉;水冷鋼外殼底部放置有底板,水冷鋼外殼下部穿過保溫棉和底板焊接有連接桿,連接桿通過螺母擰緊在壓緊底板底部。本實用新型通過碳/碳
復(fù)合材料板材作為化學(xué)氣相沉積爐爐蓋底板,由于碳/碳復(fù)合材料具有低密度、高強度、耐高溫、耐腐蝕氣氛等優(yōu)點,有效解決了傳統(tǒng)化學(xué)氣相沉積爐爐蓋長期使用后底板碳化,變形,焊縫開裂、掉落的問題,而且隨著使用時間的增加,碳/碳復(fù)合材料底板密度增加,強度也隨之提高。
聲明:
“化學(xué)氣相沉積爐爐蓋” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)