本發(fā)明涉及透射電子顯微鏡樣品制備技術(shù)領(lǐng)域,具體為一種自支撐薄膜類透射電鏡樣品及其制備方法。該薄膜類材料包括:利用物理和化學(xué)氣相沉積方法,例如磁控濺射沉積技術(shù)制備的自支撐金屬材料、非金屬材料、
復(fù)合材料等。該方法包括:利用超薄的自支撐
碳納米管薄膜作為基體,經(jīng)過酒精處理后,使得原本蓬松的CNTs薄膜收縮,然后利用磁控濺射沉積技術(shù)制備所需材料薄膜(如前所述的金屬、非金屬、復(fù)合材料等),這層材料與采用傳統(tǒng)基底生長(zhǎng)出來的薄膜的顯微結(jié)構(gòu)和成分一致。最后將制備所得的材料直接進(jìn)行離子減薄,獲得適合于透射電鏡觀察的樣品。該方法不僅工序簡(jiǎn)單,還能提高實(shí)驗(yàn)人員的效率和成功率,是一種非常簡(jiǎn)單卻也行之有效的方法。
聲明:
“自支撐薄膜類透射電鏡樣品及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)