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應(yīng)用TSV技術(shù)的電子器件及其制作方法

778   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 17:07:00
本發(fā)明提供一種應(yīng)用TSV技術(shù)的電子器件及其制作方法,涉及微電子技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明提供的應(yīng)用TSV技術(shù)的電子器件包括至少一個半導(dǎo)體襯底,所述半導(dǎo)體襯底上設(shè)置有至少一個連接孔,連接孔貫穿半導(dǎo)體襯底,連接孔內(nèi)填充有導(dǎo)電體,導(dǎo)電體的一端用于與第一電子元件電連接,導(dǎo)電體的另一端用于與第二電子元件電連接,導(dǎo)電體具有第二熔點(diǎn),導(dǎo)電體由導(dǎo)電復(fù)合材料在室溫下自身內(nèi)部發(fā)生反應(yīng)后形成,導(dǎo)電復(fù)合材料為由具有第一熔點(diǎn)的低熔點(diǎn)金屬和熔點(diǎn)在500℃以上的高熔點(diǎn)粉末部分合金化后形成的混合物,第二熔點(diǎn)高于所述第一熔點(diǎn),且第一熔點(diǎn)在300℃以下。本發(fā)明的技術(shù)方案能夠簡單快速地應(yīng)用TSV技術(shù)實(shí)現(xiàn)不同電子元件的電連接。
聲明:
“應(yīng)用TSV技術(shù)的電子器件及其制作方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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