本發(fā)明輕質(zhì)高剛度XY工作臺(tái)及鍵合頭提供了一種適用于金屬引線鍵合機(jī)的二維工作臺(tái)及鍵合頭的組合的結(jié)構(gòu)。該結(jié)構(gòu)的二維工作臺(tái)采用由線性電機(jī)驅(qū)動(dòng)的縱橫向直線導(dǎo)軌及滑塊和豎向垂直上下弧形擺動(dòng)結(jié)構(gòu),由橫縱方向相互垂直的滑塊、導(dǎo)軌和縱向軸間解耦機(jī)構(gòu)及各自的驅(qū)動(dòng)電機(jī)組成。鍵合頭采用繞軸擺臂擺動(dòng),使擺臂的末端產(chǎn)生縱橫和垂直上下弧形綜合運(yùn)動(dòng)。由于線性電機(jī)的直接驅(qū)動(dòng)方式消除了機(jī)械誤差,改善了系統(tǒng)的動(dòng)態(tài)特性。采用特殊高比剛度鋁基碳化硅復(fù)合材料加工運(yùn)動(dòng)件來達(dá)到輕質(zhì)高剛度的結(jié)構(gòu)。本發(fā)明也適于其它具有與引線鍵合機(jī)相似工藝要求的半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備以及有高速精密三維定位和操作需要的機(jī)電設(shè)備。