一種用于等離子體加工設(shè)備中的淋浴頭電極包括位于電極板和背襯板的相對(duì)表面之間的界面膠。所述界面膠在因熱膨脹系數(shù)不一致而造成熱循環(huán)時(shí)產(chǎn)生的橫向位移過程中,保持導(dǎo)熱性能。所述界面膠包括諸如填充有
氧化鋁微粒的有機(jī)硅基
復(fù)合材料。所述界面膠能夠適應(yīng)不規(guī)則形狀特征并且使匹配表面間的表面接觸面積最大化。所述界面膠可以預(yù)置至消耗型上部電極上。
聲明:
“用于等離子體加工設(shè)備中的復(fù)合淋浴頭電極總成” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)