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紫外微圖形化氧化物薄膜的制備方法及薄膜晶體管

780   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 17:12:17
一種紫外微圖形化氧化物薄膜的制備方法及薄膜晶體管,氧化物薄膜的制備方法包括如下步驟,將氧化物前驅(qū)體溶液通過非真空法在基底上形成氧化物前驅(qū)體薄膜,用紫外光通過具有圖形的掩膜板對氧化物前驅(qū)體薄膜進(jìn)行曝光,氧化物前驅(qū)體薄膜受紫外光照射的部分化學(xué)性質(zhì)發(fā)生變化,未照射部分化學(xué)性質(zhì)不變,再經(jīng)顯影液浸泡顯影實現(xiàn)圖形化;其中,前驅(qū)體溶液和顯影液中所使用的溶劑均為水且不含其它有機(jī)添加劑。氧化物薄膜呈半導(dǎo)體、絕緣體或者導(dǎo)體性質(zhì)。本發(fā)明能實現(xiàn)氧化物薄膜的有效圖形化,工藝簡單,對膜層無污染,圖形化過程能有效減少膜層中所含雜質(zhì),且能實現(xiàn)低溫制備高質(zhì)量氧化物或復(fù)合材料薄膜。所制備薄膜晶體管性能良好,工藝簡單,適用范圍廣。
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