一種基板退火裝置用的遮熱板,具有:被水平地支承的平板狀的基板(1),位于基板的上方、通過輻射熱而加熱基板上表面的加熱器(5),能夠在遮蔽基板和加熱器之間的遮蔽位置和從遮蔽位置離開的開放位置之間水平移動的遮熱板(10)。遮熱板(10),包括:由在遮蔽位置的溫度差下幾乎不變形的低熱膨脹材料(碳
復(fù)合材料)構(gòu)成的構(gòu)造部件(12),和覆蓋構(gòu)造部件的上表面、將該構(gòu)造部件保持在其容許溫度以下的隔熱部件(14)。
聲明:
“基板退火裝置用的遮熱板” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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