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氯硅烷體系微量硼、磷雜質(zhì)的吸附方法

711   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 17:14:55
一種氯硅烷體系微量硼、磷雜質(zhì)的吸附方法,包括以下步驟:一種由固體吸附材料負(fù)載離子液體的復(fù)合材料,是將固體吸附材料作為支撐載體,將其與離子液體或者有機(jī)溶劑按比例混合均勻,進(jìn)行研磨;所得混合物進(jìn)行真空加熱干燥,得到以多孔材料為支撐載體的復(fù)合材料;所得復(fù)合吸附材料填充于吸附柱中,在高純氮?dú)庀?,將一定溫度、壓力的氯硅烷通入吸附柱;吸附柱出口收集處理后的氯硅烷,得到提純后的氯硅烷;?fù)合吸附材料在一定溫度、壓力下進(jìn)行氣體吹掃,進(jìn)行脫附回收。本發(fā)明的硼、磷微量雜質(zhì)吸附劑實(shí)現(xiàn)了氯硅烷體系中存在的微量硼、磷雜質(zhì)的高效吸附;不經(jīng)過高溫處理,能耗低,工藝簡(jiǎn)單;吸附劑循環(huán)利用,生產(chǎn)過程中廢物排放少,避免了環(huán)境污染。
聲明:
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