本發(fā)明涉及傳感器領(lǐng)域,公開(kāi)了一種三明治型大面積高密度柔性陣列傳感器及其制備方法,傳感器包括上極板、下極板和設(shè)置在上下極板之間的陣列壓敏層和絕緣膠層,上、下極板上設(shè)有相對(duì)應(yīng)的陣列電極和導(dǎo)線(xiàn),陣列電極為行列線(xiàn)結(jié)構(gòu),每列電極通過(guò)導(dǎo)線(xiàn)相連接,絕緣膠層對(duì)應(yīng)陣列壓敏層的位置鏤空,其制備方法包括如下步驟:采用絲網(wǎng)印刷工藝制備上、下極板;制備壓敏
復(fù)合材料;采用絲網(wǎng)印刷工藝將未固化的壓敏復(fù)合材料印刷在其中一個(gè)極板上的陣列電極處,形成陣列壓敏層;將上、下極板通過(guò)絕緣膠貼合。本發(fā)明工藝簡(jiǎn)單,效率較高,成本低廉,且制備出的大面積高密度柔性陣列傳感器靈敏度高、穩(wěn)定性好、壓力感知范圍大。
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