一種復(fù)合固支梁及其制備方法,屬于微機電系統(tǒng)技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明提出了一種基于“金?
石墨烯?金”三層
復(fù)合材料形成的固支梁結(jié)構(gòu)。本發(fā)明復(fù)合固支梁的制作工藝簡單、成本低廉、操作可控性強,且兼具易于與CMOS電路集成的優(yōu)勢;運用本發(fā)明復(fù)合固支梁作為微機電系統(tǒng)開關(guān),由于其相比石墨烯梁具有較小的楊氏模量和彈性系數(shù),因而能夠降低開關(guān)的驅(qū)動電壓;同時,由于其相比傳統(tǒng)金屬梁具有高機械強度,因此能夠解決其作為開關(guān)的可靠性問題,進而有利于其作為MEMS開關(guān)的商業(yè)化發(fā)展。
聲明:
“復(fù)合固支梁及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)