本發(fā)明涉及一種高靈敏度柔性電子皮膚及其制備方法，制備方法主要包括PDMS基片的制備、TCO薄膜的制備、多壁碳納米管溶液的制備、壓電復(fù)合材料的制備、粗糙模板的制備、壓電傳感器的成型、在各TCO上使用導(dǎo)電銀漿遷出一根銅線，壓電傳感器從磨砂玻璃上剝離下來，和TCO薄膜結(jié)合在一起；高壓極化電場下處理12小時。本發(fā)明得到的高靈敏度柔性電子皮膚主要由柔性電極及介電層兩部分組成，不同于常規(guī)的柔性電子皮膚對大載荷下靈敏，對小載荷情況下依然保持靈敏度，用于人工智能、健康監(jiān)測和仿生機器人。本發(fā)明的制備方法簡單且可行且能夠與測試其他參數(shù)(如溫度、濕度等)的電子皮膚兼容，為制備出自發(fā)電的多種參數(shù)同步測量的電子皮膚打下基礎(chǔ)。