一種一步式和室溫處理工藝,利用超快脈沖激光燒蝕氧化鈦或金屬鈦靶將金屬氧化物,如結(jié)晶二氧化鈦(TiO2)的納米顆?;蚣{米
復(fù)合材料(納米顆粒組合的)薄膜沉積在基片表面上。所述系統(tǒng)包括脈沖激光,它的脈沖持續(xù)時(shí)間范圍從幾飛秒至幾十皮秒;光學(xué)設(shè)置,用于處理激光束,使得激光束以適當(dāng)?shù)钠骄芰棵芏群瓦m當(dāng)?shù)哪芰棵芏确植季劢乖诎斜砻嫔?;和真空腔,其中安裝有靶和基片,并且在其中可適當(dāng)調(diào)節(jié)背景氣體和它們的壓強(qiáng)。
聲明:
“沉積結(jié)晶二氧化鈦納米顆粒和薄膜的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)