本發(fā)明公開了一種裝有保溫內(nèi)桶的周期交替操作的
多晶硅還原爐,在還原爐內(nèi)安裝保溫內(nèi)桶,保溫內(nèi)桶為圓柱狀,桶頂在與底盤通氣口對應(yīng)的位置開有小孔,保溫內(nèi)桶的材料為碳-碳
復(fù)合材料,不銹鋼或者石墨,保溫內(nèi)桶的外徑較還原爐內(nèi)壁直徑小10-30cm,保溫內(nèi)桶高度較硅棒高度高約10-50cm,內(nèi)桶的壁厚為5-10cm,通過螺栓固定在底盤上。保溫內(nèi)桶的外壁連接有不銹鋼板或者石墨板,不銹鋼或石墨板沿保溫內(nèi)桶外壁從保溫內(nèi)桶底部盤旋至保溫內(nèi)桶頂部呈螺旋狀,螺距為500cm-1500cm,不銹鋼或石墨板的寬為5cm-30cm,不銹鋼或石墨板的厚度為5-20mm。保溫內(nèi)桶本身具有隔熱的作用,以及環(huán)隙氣體與保溫內(nèi)桶內(nèi)的氣體形成對流傳熱有利于氣體對熱量的吸收,使得鐘罩內(nèi)壁的溫度低于575℃,有利于壁面的保護(hù)。
聲明:
“裝有保溫內(nèi)桶的周期交替操作的多晶硅還原爐及操作方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)