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高效、穩(wěn)定的超薄柔性太赫茲屏蔽材料的制備方法

804   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 17:46:46
本發(fā)明涉及一種高效、穩(wěn)定的超薄柔性太赫茲屏蔽材料的制備方法。制備步驟:首先在金屬基底上通過(guò)化學(xué)氣相沉積法在其表面生長(zhǎng)石墨烯;然后在生長(zhǎng)有石墨烯的金屬基底上涂覆一層轉(zhuǎn)移媒介;接著將金屬基底用刻蝕液去除,剩下轉(zhuǎn)移媒介支撐的石墨烯;之后在聚合物基底上沉積一層金屬薄膜;然后將轉(zhuǎn)移媒介支撐的石墨烯轉(zhuǎn)移到聚合物基底上沉積的金屬薄膜上,并將支撐石墨烯的轉(zhuǎn)移媒介去除;接著交替重復(fù)以上金屬薄膜的沉積和石墨烯的轉(zhuǎn)移步驟,以得到層層組裝的金屬/石墨烯復(fù)合材料。本發(fā)明的金屬/石墨烯層層組裝太赫茲屏蔽材料厚度小、屏蔽效能高、柔性良好、穩(wěn)定性高,在微電子器件和柔性電子設(shè)備的太赫茲屏蔽領(lǐng)域內(nèi)具有廣闊前景。
聲明:
“高效、穩(wěn)定的超薄柔性太赫茲屏蔽材料的制備方法” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專(zhuān)利(論文)的發(fā)明人(作者)
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