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準靜態(tài)偏轉(zhuǎn)的電熱式MEMS微鏡及其制作方法

1111 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-18 20:17:05

本發(fā)明公開了一種準靜態(tài)偏轉(zhuǎn)的電熱式MEMS微鏡及其制作方法。該電熱式MEMS微鏡包括基底層、電熱驅(qū)動層和鏡片應用層；電熱驅(qū)動層從上至下依次為高膨脹層、電阻加熱層、低膨脹層，電熱驅(qū)動層的一端與基底層連接，另一端可以相對于基底層進行偏轉(zhuǎn)，電阻加熱層通過引線連接外部電源；當電阻加熱層通電發(fā)熱使高膨脹層、低膨脹層吸熱膨脹并產(chǎn)生彎曲，帶動鏡片應用層沿電熱驅(qū)動層與基底層的連接端偏轉(zhuǎn)，調(diào)節(jié)電阻加熱層的電流可以控制高膨脹層、低膨脹層的溫度以及鏡片應用層的偏轉(zhuǎn)角度?；诒景l(fā)明制造的光調(diào)配器件，能夠?qū)崿F(xiàn)光線聚焦、反射、散射等多種功能，應用于多個領域，在新能源利用及綠色環(huán)保方面有著非常好的應用前景。

聲明：

“準靜態(tài)偏轉(zhuǎn)的電熱式MEMS微鏡及其制作方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)