本發(fā)明實(shí)施例公開了一種用于制造硫化鋅、硫化鉛和硫化鎘量子點(diǎn)的方法及設(shè)備,涉及新能源技術(shù)領(lǐng)域,能夠用來高精度、低成本、大規(guī)模地制造量子點(diǎn)陣列。本發(fā)明包括:激光加工頭1與激光器相連,并且激光加工頭1豎直向下指向樣品支架25;反應(yīng)腔體3上頂部開設(shè)有開口,開口中安裝玻璃窗口2,以便于激光加工頭1射出的激光透過玻璃窗口2向樣品支架25照射,樣品支架25用于放置樣品基底26;樣品支架25安裝在反應(yīng)腔體3中,反應(yīng)腔體3的兩側(cè)分別安裝有微波源4和與微波源4相對應(yīng)的調(diào)諧器;反應(yīng)腔體3接入了五條管路,各個管路分別輸送不同類別的前驅(qū)體氣體。本發(fā)明適用于硫化鋅、硫化鉛和硫化鎘量子點(diǎn)制造。
聲明:
“用于制造硫化鋅、硫化鉛和硫化鎘量子點(diǎn)的方法及設(shè)備” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)