本發(fā)明實(shí)施例公開(kāi)了一種用于制造二硫化鉬量子點(diǎn)陣列的設(shè)備與工藝方法,涉及新能源技術(shù)領(lǐng)域,便于推進(jìn)MoS
2量子點(diǎn)產(chǎn)業(yè)化和大規(guī)模應(yīng)用。本發(fā)明的方法包括:加工腔體系統(tǒng)、源路系統(tǒng)、等離子體系統(tǒng)、激光系統(tǒng)、尾氣處理系統(tǒng)和真空系統(tǒng)(19),所述激光系統(tǒng)安裝在所述加工腔體系統(tǒng)上方,所述等離子體系統(tǒng)布置在所述加工腔體系統(tǒng)的外表面,所述源路系統(tǒng)的管路連接所述加工腔體系統(tǒng),所述真空系統(tǒng)(19)的一端連接所述加工腔體系統(tǒng),所述真空系統(tǒng)(19)的另一端連接所述尾氣處理系統(tǒng)。本發(fā)明適用于MoS
2量子點(diǎn)的制造。
聲明:
“用于制造二硫化鉬量子點(diǎn)陣列的設(shè)備與工藝方法” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專(zhuān)利(論文)的發(fā)明人(作者)