一種納米硅薄膜
太陽能電池橢園偏振光實時監(jiān)控制備方法,它有五大步驟:一、采用濕化學法對單晶硅片進行各向異性腐蝕,獲得金字塔狀的絨面硅片襯底;二、采用熱蒸發(fā)方法或磁控濺射方法制備納米硅薄膜太陽能電池的背電極;三:采用等離子體增強化學氣相沉積法,通入
硅烷SiH4制備I層納米硅薄膜,通入硅烷SiH4和磷烷PH3混合氣體制備N層納米硅薄膜,通入硅烷SiH4和硼烷B2H5混合氣體制備P層納米硅薄膜;四、在步驟三沉積納米硅薄膜過程中,采用橢園偏振光實時監(jiān)控薄膜的生長;五、采用熱蒸發(fā)方法或磁控濺射方法或絲網(wǎng)印刷技術(shù)制備納米硅薄膜太陽能電池的透明導電膜電極和上電極。它在光電應用和新能源技術(shù)領(lǐng)域里具有良好的應用前景。
聲明:
“納米硅薄膜太陽能電池橢園偏振光實時監(jiān)控制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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