本發(fā)明屬于新能源以及空間電源領(lǐng)域,涉及一種多結(jié)砷化鎵太陽(yáng)電池一次腐蝕工藝方法,可利用單一腐蝕液一次腐蝕制備隔離槽及劃片槽。該發(fā)明公開(kāi)了一種隔離槽/劃片槽一次腐蝕制備工藝,包含了光刻膠保護(hù)工藝、一次腐蝕工藝,其中隔離槽腐蝕是制備集成旁路二極管的關(guān)鍵工序。其特征在于:該工藝通過(guò)光刻膠掩蔽工藝制備圖形,通過(guò)單一腐蝕液一次腐蝕至襯底層;一次腐蝕可同時(shí)腐蝕正面外延層及背面襯底材料;一次腐蝕可同時(shí)制得隔離槽及劃片槽;通過(guò)一次腐蝕、電極蒸鍍、合金等工序制得的旁路二極管可保護(hù)太陽(yáng)電池免受“熱斑”等空間損害;通過(guò)一次腐蝕制得劃片槽,直接切割劃片槽可避免邊緣機(jī)械損傷,影響電池電性能。
聲明:
“多結(jié)砷化鎵太陽(yáng)電池一次腐蝕工藝方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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