一種全氮化釩集流體/電極超級(jí)電容器及其制備方法，屬于新能源材料與器件技術(shù)領(lǐng)域。首先，清洗去除襯底表面雜質(zhì)；然后在襯底表面沉積一層具有高致密度、高導(dǎo)電性的VN薄膜作為電子輸運(yùn)集流體材料，再通過(guò)調(diào)控沉積工藝參數(shù)改變薄膜表面原子擴(kuò)散和形核生長(zhǎng)等機(jī)制，在集流體上直接繼續(xù)生長(zhǎng)一層疏松多孔、低導(dǎo)電性的VN薄膜作為電極材料。本發(fā)明集流體和電極同為VN連續(xù)生長(zhǎng)，通過(guò)簡(jiǎn)單地改變薄膜沉積工藝參數(shù)對(duì)材料的性能進(jìn)行剪裁，工藝簡(jiǎn)便易行、成本低，薄膜沉積技術(shù)選擇種類多、工藝適用性強(qiáng)，解決了異類集流體和電極材料間附著力差、晶格失配和熱膨脹系數(shù)差異導(dǎo)致分層開(kāi)裂以及接觸電阻大的問(wèn)題，將極大提高超級(jí)電容器的功率密度、熱穩(wěn)定性和長(zhǎng)期服役可靠性。