本發(fā)明實(shí)施例公開了一種同腔制造氧化鋅、氧化鈦和氧化鎳量子點(diǎn)的方法及設(shè)備，涉及新能源技術(shù)領(lǐng)域，便于量子點(diǎn)的產(chǎn)業(yè)化和大規(guī)模應(yīng)用。本發(fā)明包括：將樣品基底放入反應(yīng)腔體內(nèi)，啟動(dòng)真空系統(tǒng)對(duì)反應(yīng)腔體抽真空；向反應(yīng)腔體輸入?OH有機(jī)物氣體作為?OH等離子氣體源；啟動(dòng)激光加工頭掃描樣品基底的表面；啟動(dòng)激光加工頭再次對(duì)樣品基底的表面進(jìn)行掃描；向反應(yīng)腔體輸入驅(qū)體氣體，并啟動(dòng)激光加工頭掃描樣品基底的表面進(jìn)行加熱；向反應(yīng)腔體輸入O源前驅(qū)體，啟動(dòng)激光加工頭加熱樣品基底的表面，使表面吸附的源前驅(qū)體與輸入的O源前驅(qū)體發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，生成量子點(diǎn)陣列。本發(fā)明適用于制造氧化鋅、氧化鈦和氧化鎳量子點(diǎn)。