一種含有摻雜工藝的銅鋅錫硫薄膜制備方法,涉及光電材料及
新能源材料領(lǐng)域,該方法可以有效解決銅鋅錫硫薄膜
太陽能電池吸收層即銅鋅錫硫薄膜的結(jié)晶性較差的問題,其步驟包括:a、提供一襯底;b、將銅、鋅、錫三種金屬沉積在襯底上,形成金屬前軀體;c、在金屬前軀體上沉積含有銻元素的膜層作為摻雜層;d、將金屬前軀體及摻雜層在含硫的氣氛下熱處理,此過程中硫元素與銅鋅錫形成銅鋅錫硫薄膜。該方法改善了銅鋅錫硫的結(jié)晶性,降低了結(jié)晶溫度,提高了薄膜的質(zhì)量,同時還降低了工藝難度和成本,具有很好的推廣利用價值。
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