一種厚膜鋰霞石濕度敏感傳感器元件及其制備方法,它涉及濕度敏感傳感器元件及其制備方法。本發(fā)明是要解決現有的鋰霞石濕度傳感器響應慢、制備工藝難度大的技術問題。本發(fā)明的一種厚膜鋰霞石濕度敏感傳感器元件由
氧化鋁陶瓷基體、涂覆在氧化鋁陶瓷基體上的鋰霞石涂層和焊接在氧化鋁陶瓷基體上的電極組成,其中鋰霞石涂層的厚度為0.001mm~0.1mm;制備方法:將鋰霞石顆粒和鋰霞石溶膠粘結劑研磨后得到的漿料涂覆在氧化鋁陶瓷基體上,燒結后再經老化,得到厚膜鋰霞石濕度敏感傳感器元件。該元件化學性質穩(wěn)定,響應時間短,制備工藝簡單,可應用于高溫惡劣壞境中的濕度檢測。
聲明:
“厚膜鋰霞石濕度敏感傳感器元件及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)