獲得一種鋰靶自動再生裝置及鋰靶自動再生方法,其具備鋰靶的鋰的膜厚的測定功能,并且可使蒸鍍源向鋰靶移動,自動地進行消耗了的鋰靶的再生。鋰靶自動再生裝置(106)可自動地再生鋰靶的鋰,該鋰靶自動再生裝置(106)具備使鋰蒸鍍到鋰靶上的鋰蒸鍍單元(1),鋰蒸鍍單元(1)可移動到鋰靶側,使鋰蒸鍍到鋰靶上。
聲明:
“鋰靶自動再生裝置及鋰靶自動再生方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)