本發(fā)明涉及含鋰過渡金屬氧化物靶,其由晶系為六方晶系的含鋰過渡金屬氧化物的燒結體構成,并且燒結體的相對密度為90%以上、平均結晶粒徑為1ΜM以上、50ΜM以下;以及,其由晶系為六方晶系的含鋰過渡金屬氧化物的燒結體構成,其中,通過使用CU KΑ射線的X射線衍射測得的(003)面、(101)面、(104)面的強度比滿足下述(1)和(2)的條件:(1)(101)面相對于(003)面的峰值比為0.4以上、1.1以下;(2)(101)面相對于(104)面的峰值比為1.0以上。本發(fā)明提供用于形成三維電池、全固體電池等薄膜電池中使用的薄膜正極的最佳含鋰過渡金屬氧化物靶及其制造方法以及鋰離子薄膜二次電池。本發(fā)明的課題特別在于得到能夠形成均勻性優(yōu)良的薄膜的
正極材料靶。
聲明:
“含鋰過渡金屬氧化物靶及其制造方法以及鋰離子薄膜二次電池” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)