本公開內(nèi)容提供一種用于制造柔性層堆疊(100)的方法。所述方法包括:提供(310)柔性基板(101);在柔性基板(101)之上沉積(320)第一層(110),第一層(110)包括第一材料;在第一層(110)之上沉積(330)第二層(120),第二層(120)包括第二材料;和去除(340)柔性基板(101)。
聲明:
“用于制造柔性層堆疊的方法和設(shè)備以及柔性層堆疊” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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