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大尺寸鈮酸鋰晶片及其加工方法

683 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-18 20:57:26

本發(fā)明公開了一種大尺寸鈮酸鋰晶片的加工方法，包括以下步驟:步驟1：通過制備富鋰多晶料、熔化、提拉生長工藝，得到大尺寸鈮酸鋰晶體；步驟2：將切割后的大尺寸鈮酸鋰晶片研磨，雙面減薄，得到表面具有粗糙結構的大尺寸超薄鈮酸鋰雙面減薄片；然后，置于拋光裝置中進行處理，得到大尺寸鈮酸鋰晶片，本發(fā)明通過制備富鋰多晶料、熔化、提拉生長、研磨，雙面減薄和拋光等工藝制備得到大尺寸鈮酸鋰晶片；該大尺寸鈮酸鋰晶片的加工方法具有工藝簡單，一次拋光，批量生產(chǎn)，拋光效率高，生產(chǎn)的鈮酸鋰晶片表面平坦度高。

聲明：

“大尺寸鈮酸鋰晶片及其加工方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)