本發(fā)明提供一種提高類金剛石碳膜與鎂鋰合金基底結(jié)合力的方法,其包括對(duì)鎂鋰合金基底預(yù)處理及在鎂鋰合金基底上制備類金剛石碳膜。主要工藝步驟:(1)將鎂鋰合金板材制成標(biāo)準(zhǔn)試樣;(2)試樣經(jīng)砂紙打磨、拋光機(jī)拋光后,表面呈現(xiàn)鏡面效果,再經(jīng)去離子水、無(wú)水乙醇超聲清洗,干燥后放入真空室;(3)達(dá)到本底真空度后,通入工作氣體氬氣(Ar)和氫氣(H2),在激勵(lì)電場(chǎng)作用下激發(fā)成等離子態(tài),然后在偏壓條件下對(duì)鎂鋰合金表面進(jìn)行刻蝕,構(gòu)造微粗糙表面;(4)通入反應(yīng)氣體乙炔(C2H2)和四甲基
硅烷(TMS),沉積硅摻雜類金剛石碳膜(Si?DLC);(5)沉積結(jié)束后,經(jīng)自然冷卻后取出樣品。通過(guò)本發(fā)明可以得到與鎂鋰合金基材具有良好結(jié)合力的類金剛石碳膜,進(jìn)而提升鎂鋰合金表面耐磨強(qiáng)度,增長(zhǎng)鎂鋰合金使用壽命。
聲明:
“提高類金剛石碳膜與鎂鋰合金基底結(jié)合力的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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