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鈮酸鋰起偏器芯片加工方法

922   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 20:59:44
一種鈮酸鋰起偏器芯片加工方法,包括如下步驟:1)對(duì)鈮酸鋰晶體進(jìn)行切割,2)進(jìn)行研磨拋光,3)采用質(zhì)子交換退火工藝加工出波導(dǎo),獲得鈮酸鋰起偏器芯片;其改進(jìn)在于:步驟1)中,進(jìn)行切割時(shí),切割面與鈮酸鋰晶體的Y軸方向平行,同時(shí)切割面與鈮酸鋰晶體的Z軸方向成一定夾角θ,0°<θ<90°;然后采用步驟2)、3)中的工藝,在鈮酸鋰晶片上加工出波導(dǎo),最終獲得起偏角度與波導(dǎo)面夾角成θ的鈮酸鋰起偏器芯片。本發(fā)明的有益技術(shù)效果是:在切割鈮酸鋰晶體時(shí)就完成了對(duì)鈮酸鋰起偏器芯片的起偏角度的調(diào)節(jié),對(duì)切割工藝造成的影響僅在于調(diào)節(jié)切刀的角度,但卻使耦合工藝的復(fù)雜度得到了大幅縮減,大大提高了耦合工藝的加工效率。
聲明:
“鈮酸鋰起偏器芯片加工方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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