本發(fā)明公開了一種雙偏振模鈮酸鋰直條波導(dǎo)相位調(diào)制器及其制備方法。器件主要由鈮酸鋰光波導(dǎo)
芯片和保偏尾纖組成,其鈮酸鋰光波導(dǎo)芯片由鈮酸鋰襯底(1)、表面的條形鈦擴(kuò)散波導(dǎo)區(qū)(2)、表面的質(zhì)子交換區(qū)(3)、二氧化硅隔離層(4)及表面的金屬電極(5)所組成。調(diào)制器的制備方法包括芯片的制備方法和芯片與保偏尾纖的耦合連接方法兩部分,給出了芯片的制備方法,主要包括條波導(dǎo)區(qū)鈦擴(kuò)散以及在非鈦擴(kuò)散波導(dǎo)區(qū)進(jìn)行退火質(zhì)子交換等工藝過程。該芯片結(jié)構(gòu)及制備方法能夠確保器件同時(shí)具有較小的損耗和偏振相關(guān)損耗。芯片與尾纖的耦合連接方法保證了器件具有低的偏振串音及其性能指標(biāo)的溫度穩(wěn)定性。
聲明:
“雙偏振模鈮酸鋰直條波導(dǎo)相位調(diào)制器及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)