制造包含鋰金屬電極的
電化學裝置的方法可包含:提供基板,在所述基板表面上具有鋰金屬電極;沉積第一電介質(zhì)材料層至鋰金屬電極上,且沉積第一電介質(zhì)材料層是在氬環(huán)境中濺射Li3PO4;在沉積第一電介質(zhì)材料層后,在第一電介質(zhì)材料層上方誘發(fā)及維持氮等離子體,以提供離子轟擊第一電介質(zhì)材料層而將氮并入所述第一電介質(zhì)材料層內(nèi);及在沉積、誘發(fā)及維持后,沉積第二電介質(zhì)材料層至經(jīng)離子轟擊的第一電介質(zhì)材料層上,且沉積第二電介質(zhì)材料層是在含氮環(huán)境中濺射Li3PO4。電化學裝置可包含在鋰金屬電極與LiPON電解質(zhì)之間的阻擋層。本文也描述配置為制造包含鋰金屬電極的電化學裝置的工具。
聲明:
“鋰金屬上的固態(tài)電解質(zhì)及阻擋層及其方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)